高能离子注入机是集成电路制造所必需的三种离子注入机机型之一，其研发难度堪称离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”。电科装备北京烁科中科信高能离子注入机党员突击队从接到任务指令起，便进入紧张的倒计时阶段，研发厂房日日灯火通明，全员发力确保按节点完成设备研发及交付重任。

　　与时间赛跑

　　由于设备对工艺要求极高，工艺验证阶段为攻克关键工艺难点，团队成员一头扎进厚厚的技术资料堆中，锲而不舍地重复上机验证。

　　一次次失败，一遍遍验证，他们用不到15天的时间成功攻克了束流调试算法这一关键工艺难点，实现了8000KeV的粒子加速能量，并顺利实现其他各项工艺指标均达到对标机台水平，为设备日后在产线的平稳运行提供了工艺保障。

　　同指标较量

　　指标复测是设备出厂前的一次全面的内部“健康体检”，测试结果如何，决定了设备能否顺利交付。

　　作为专业的“设备医生”，突击队成员扎根厂房数月，日夜鏖战，进行高强度攻关，做了几十次实验模拟，对设备的“体检”数据进行细致地收集、整理及对比，深入检验设备各项运行指标，同时及时调整设备运行状态。最终实现了在高能量下全流程自动流片，设备完全具备进入客户端的要求。

　　“交付就是指令，指令所向，使命必达”是高能离子注入机党员突击队的铮铮誓言，团队成员必将永葆“干”的作风、“闯”的精神，紧紧拧成一股绳、尽显其能，为按节点完成任务保驾护航。

　　（来源/电科装备 高婷婷）